TECAPEEK SX natural

半導体用無添加PEEK樹脂

TECAPEEK SX naturalは、Victrex® PEEK 450 を使用して、板材・丸棒及びチューブに押出成形加工した無添加 PEEK 素材(ポリエーテルエーテルケトン) です。 これは、半導体のCopy Exactly (Copy Exactまたは CE とも呼ばれます) 要件を満たす半導体グレードです。 さらに、より厳格な品質管理と処置を講じることによって、一般工業向け PEEK と比較して内部応力が低減し、且つ寸法安定性が向上しています。 その結果、半導体製造装置向けに、最も厳しい公差が設定された最も要求の厳しい高精度切削加工部品を容易に実現できます。

優れた耐摩耗性や熱応力下においても非常に優れた機械特性を発揮、などのPEEK材料特性は、TECAPEEK SX naturalにも適合します。 優れた耐薬品性、高い使用温度領域 (最大 260℃) によりPEEK特性が出そろうことになり、TECAPEEK SX は、高い応力のかかる部品のほぼ全般に適用できる材料となっています。 TECAPEEK naturalの特徴である低イオン不純物は、 TECAPEEK SX naturalにも当てはまります。

TECAPEEK SX には 400 以上の異なる寸法が用意されており、エンズィンガーは、半導体業界の要求に応じて最適な PEEK 素材 サイズの多様性を提供します。このようにして、切削加工メーカーは、最も近いサイズを選択することによって材料の無駄とコストを節減できるため、部品全体のコストを削減できます。 ロットサイズは、試作プロジェクト用のたった一個から、大規模な工業用サイズのロットまで広範囲にわたります。 20 種類以上の異なるサイズの在庫を常に用意しており、大量の場合でも常に最短時間または「ジャストインタイム」での出荷に対応しています。 これは、当社の非常に効率的な在庫管理システムと相まって、最高レベルの供給安定を可能にします。

全てのエンズィンガー半導体グレードの材料と同様に、TECAPEEK SX naturalが RoHS 指令 (2011/65/EU:電子・電気機器に含まれる有害物質の制限)に準拠していることを証明できます。また、ご要望に応じてさらなる準拠宣言を提供することもできます。

エンズインガ-は、CMP リテーナーリング用に特別に、無添加 PEEK グレードであるTECAPEEK CMP naturalを提供しています。 この PEEK CMP グレードは、CMP リテーナーリングとして使用した場合にウエハーの欠陥を低減できる特別な特性プロファイルを備えています。

適合規格

基本情報

プラスチックの種類
PEEK (ポリエーテルエーテルケトン)
ベージュ色
比重
1.31 g/cm3

主な特徴

  • 良好な荷重撓み温度(DTUL、HDT)
  • 良好な切削加工性
  • 難燃性
  • 耐高エネルギー線(ガンマ、X線)性
  • 良好な滑り性と摩耗特性
  • 大変良好な耐薬品性
  • 高い耐クリープ性
  • 耐加水分解性・加熱蒸気耐性

使用分野

ダウンロード

物性表


  • product-technical-detail-collapse-item-0-lvl-1
    機械特性 単位 測定条件 規格
    引張弾性率 4200 MPa 1mm/min DIN EN ISO 527-2
    引張強度 116 MPa 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    引張降伏強度 116 MPa 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    引張降伏伸度 5 % 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    引張破断伸度 15 % 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    曲げ強度 175 MPa 2mm/min, 10 N DIN EN ISO 178
    曲げ弾性率 4200 MPa 2mm/min, 10 N DIN EN ISO 178
    圧縮弾性率 3400 MPa 5mm/min, 10 N EN ISO 604
    圧縮強度 23 / 43 / 102 MPa 1% / 2% EN ISO 604
    シャルピー衝撃強度 n.b. kJ/m2 最大:7.5 J DIN EN ISO 179-1eU
    ノッチ付き シャルピー衝撃強度 4 kJ/m2 最大:7.5 J DIN EN ISO 179-1eA
    ショア硬度 89 D DIN EN ISO 868
  • product-technical-detail-collapse-item-1-lvl-1
    熱特性 単位 測定条件 規格
    ガラス転移点 150 C DIN EN ISO 11357
    融点 341 C DIN EN ISO 11357
    熱変形温度 162 C HDT高荷重(1.80MPa) ISO-R 75 Method A
    熱伝導率 0.27 W/(k*m) ISO 22007-4:2008
    比熱 1.1 J/(g*K) ISO 22007-4:2008
    使用温度 300 C 短期 NN
    使用温度 260 C 長期 NN
    線膨張係数(CLTE) 5 10-5*1/K 23-60℃ 流れ方向 DIN EN ISO 11359-1;2
    線膨張係数(CLTE) 5 10-5*1/K 23-100℃ 流れ方向 DIN EN ISO 11359-1;2
    線膨張係数(CLTE) 7 10-5*1/K 100-150℃ 流れ方向 DIN EN ISO 11359-1;2
  • product-technical-detail-collapse-item-2-lvl-1
    電気特性 単位 測定条件 規格
    表面抵抗率 1015 銀電極、23℃、湿度12% -
    体積抵抗率 1015 Ω*cm 銀電極、23℃、湿度12% -
    絶縁破壊強度 73 kV/mm 23℃、湿度50% ISO 60243-1
    耐トラッキング性(CTI) 125 V 白金電極、23℃、湿度50%、溶液A DIN EN 60112
  • product-technical-detail-collapse-item-3-lvl-1
    その他の諸特性 単位 測定条件 規格
    熱水耐性・耐アルカリ性 + - -
    難燃性(UL94) V0 - 1.5mm厚で収載 DIN IEC 60695-11-10;
    耐候性 - - -
    吸水率 0.02 - 0.03 % 24時間/96時間 (23℃) DIN EN ISO 62

サイズ一覧