TECATRON CMP natural

用於CMP固定環的未填充PPS管材

TECATRON CMP natural是未填充的PPS塑料(聚苯硫醚),專門針對CMP固定環應用進行了優化,是恩欣格半導體等級產品之一。TECATRON CMP natural的特點是當作為CMP固定環時,與標準PPS聚合物相比,可以減少微劃痕和晶圓缺陷。TECATRON CMP natural的之前被稱為TECATRON SE natural。

材料選擇的一個關鍵挑戰是CMP固定環材料的微小特性差異會影響研磨墊的形狀。此種調整會導致不同數量的研磨墊碎屑並影響碎屑夾帶的程度,進而對CMP加工的整體性能有重大影響。研究表明,TECATRON CMP磨損研磨墊的方式使研磨墊粗糙度得到優化,增強材料移除率並減少缺陷。(見研究,該產品在文章中稱為TECATRON SE,這是TECATRON CMP的前身)

與所有恩欣格半導體等級產品一樣,TECAPEEK CMP natural管材的加工符合半導體精確複製要求(Cope exact,CE),與標準工業等級PPS相比,品質控制更嚴格。 額外的品質控制和措施可以降低雜質風險,並改善內應力和尺寸穩定性。

除了優化材料性能外,恩欣格還開發了特殊的管材尺寸,以更好地適應CMP固定環的尺寸,從而減少加工過程中的浪費和成本。例如,與常見的外徑 360 / 內徑 290 mm 相比,使用外徑 350 mm / 內徑 300 mm 的管材可節省高達 27% 的材料成本。

對於需要更長使用壽命的CMP固定環,恩欣格提供以未填充PEEK為基材的TECAPEEK CMP natural 固定環,還具有CMP固定環一致的特殊性能。對於不需要這種特殊性能的其他半導體PPS應用,恩欣格提供更具成本效益的半導體級PPS板、棒和管 - TECATRON SX natural.

 

規範

事實

化學名稱
PPS (聚苯硫醚)
顏色
米黃色
密度
1.36 g/cm3

主要特色

  • 良好的熱變形溫度
  • 良好的耐化學性
  • 高能輻射抗性
  • 高強度
  • 良好的尺寸穩定性
  • 高剛性
  • 高蠕變抗性

目標行業

技術細節


  • product-technical-detail-collapse-item-0-lvl-1
    機械特性 數值 單位 參數 標準
    彈性模數 (張力測試) 4100 MPa 1mm/min DIN EN ISO 527-2
    抗拉強度 102 MPa 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    降伏點抗拉強度 100 MPa 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    降伏點伸長率 4 % 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    斷裂伸長率 4 % 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    抗彎強度 151 MPa 2mm/min, 10 N DIN EN ISO 178
    彈性模數 (彎曲測試) 4000 MPa 2mm/min, 10 N DIN EN ISO 178
    壓縮模數 3300 MPa 5mm/min, 10 N EN ISO 604
    壓縮強度 20/38/96 MPa 1% / 2% / 5% EN ISO 604
    衝擊強度(Charpy) 29 kJ/m2 max. 7,5J DIN EN ISO 179-1eU
    蕭氏硬度 87 D DIN EN ISO 868
  • product-technical-detail-collapse-item-1-lvl-1
    熱特性 數值 單位 參數 標準
    玻璃轉化溫度 97 C DIN EN ISO 11357
    熔化溫度 281 C DIN EN ISO 11357
    導熱係數 0.25 W/(k*m) ISO 22007-4:2008
    比熱 1.0 J/(g*K) ISO 22007-4:2008
    使用溫度 260 C short term NN
    使用溫度 230 C long term -
    熱膨脹 (CLTE) 6 10-5*1/K 23-60°C, long. DIN EN ISO 11359-1;2
    熱膨脹 (CLTE) 7 10-5*1/K 23-100°C, long. DIN EN ISO 11359-1;2
    熱膨脹 (CLTE) 12 10-5*1/K 100-150°C, long. DIN EN ISO 11359-1;2
  • product-technical-detail-collapse-item-2-lvl-1
    電性特性 數值 單位 參數 標準
    表面電阻 1014 DIN IEC 60093
    體積電阻 1014 Ω*cm DIN IEC 60093
  • product-technical-detail-collapse-item-3-lvl-1
    其他特性 數值 單位 參數 標準
    耐熱水/鹼 + - -
    耐燃性(UL94) V0 - corresponding to DIN IEC 60695-11-10;
    耐候性 - - -
    吸水率 <0.01 - 0.01 % 24h / 96h (23°C) DIN EN ISO 62

常備庫存