TECATRON CMP natural
PPS NEPLNĚNÉ TRUBKY PRO POJISTNÉ KROUŽKY CMP
TECATRON CMP natural je neplněný plast z PPS (polyfenylsulfid) optimalizovaný speciálně pro aplikace s pojistnými kroužky pro CMP a je tak součástí portfolia společnosti Ensinger pro polovodičový průmysl. TECATRON CMP natural se vyznačuje unikátním profilem vlastností, který umožňuje snížit výskyt mikroškrábanců a defektů na úrovni destiček oproti standardnímu polymeru PPS, pokud se používá jako opěrný kroužek pro CMP. Dřívější název TECATRON CMP natural byl TECATRON SE natural.
Klíčovým problémem při výběru materiálu je skutečnost, že drobné rozdíly ve vlastnostech materiálu pojistného kroužku CMP ovlivní tvar asperitů podložky. Tato změna způsobí rozdílné množství úlomků podložky a ovlivní rozsah zachycení úlomků, což má zase významný dopad na celkový výkon procesu CMP. Studie ukázaly, že technologie TECATRON CMP opotřebovává podložky tak, aby byly asperity podložek optimalizovány pro lepší úběr materiálu a snížení počtu defektů. (Viz studie, v článku se výrobek nazývá TECATRON SE, což je dřívější název TECATRON CMP).
Stejně jako všechny polovodičové třídy Ensinger jsou i přírodní trubice TECATRON CMP zpracovávány a kopírují přesné požadavky polovodičů (známé také jako copy exact nebo CE) a přísnějšími kontrolami kvality ve srovnání s průmyslovými třídami PPS.
Dodatečné kontroly kvality a opatření umožňují snížit riziko nečistot a zlepšit vnitřní pnutí a rozměrovou stabilitu ve srovnání se standardními průmyslovými materiály PPS.
Kromě optimalizace vlastností materiálu vyvinula společnost Ensinger také speciální rozměry trubek, které lépe odpovídají typickým rozměrům upínacích kroužků CMP, což umožňuje snížit množství odpadu a náklady při obrábění. Například použití trubek o rozměrech O.D. 350 mm / I.D. 300 mm ušetří až 27 % nákladů na materiál ve srovnání s běžnými rozměry O.D. 360 / I.D. 290 mm.
Pro pojistné kroužky CMP, které vyžadují delší životnost, nabízí společnost Ensinger neplněný PEEK na bázi TECAPEEK CMP natural, rovněž se speciálním profilem vlastností přizpůsobeným pojistným kroužkům CMP. Pro ostatní aplikace s polovodičovým PPS, které nevyžadují tento speciální profil vlastností, nabízí společnost Ensinger cenově výhodnější desky, tyče a trubky z PPS pro polovodiče - TECATRON SX natural.
Klíčovým problémem při výběru materiálu je skutečnost, že drobné rozdíly ve vlastnostech materiálu pojistného kroužku CMP ovlivní tvar asperitů podložky. Tato změna způsobí rozdílné množství úlomků podložky a ovlivní rozsah zachycení úlomků, což má zase významný dopad na celkový výkon procesu CMP. Studie ukázaly, že technologie TECATRON CMP opotřebovává podložky tak, aby byly asperity podložek optimalizovány pro lepší úběr materiálu a snížení počtu defektů. (Viz studie, v článku se výrobek nazývá TECATRON SE, což je dřívější název TECATRON CMP).
Stejně jako všechny polovodičové třídy Ensinger jsou i přírodní trubice TECATRON CMP zpracovávány a kopírují přesné požadavky polovodičů (známé také jako copy exact nebo CE) a přísnějšími kontrolami kvality ve srovnání s průmyslovými třídami PPS.
Dodatečné kontroly kvality a opatření umožňují snížit riziko nečistot a zlepšit vnitřní pnutí a rozměrovou stabilitu ve srovnání se standardními průmyslovými materiály PPS.
Kromě optimalizace vlastností materiálu vyvinula společnost Ensinger také speciální rozměry trubek, které lépe odpovídají typickým rozměrům upínacích kroužků CMP, což umožňuje snížit množství odpadu a náklady při obrábění. Například použití trubek o rozměrech O.D. 350 mm / I.D. 300 mm ušetří až 27 % nákladů na materiál ve srovnání s běžnými rozměry O.D. 360 / I.D. 290 mm.
Pro pojistné kroužky CMP, které vyžadují delší životnost, nabízí společnost Ensinger neplněný PEEK na bázi TECAPEEK CMP natural, rovněž se speciálním profilem vlastností přizpůsobeným pojistným kroužkům CMP. Pro ostatní aplikace s polovodičovým PPS, které nevyžadují tento speciální profil vlastností, nabízí společnost Ensinger cenově výhodnější desky, tyče a trubky z PPS pro polovodiče - TECATRON SX natural.
