TECATRON CMP natural

rury z PPS bez wypełniaczy do pierścieni ustalających cmp

TECATRON CMP natural to niewypełnione tworzywo sztuczne PPS (polisiarczek fenylenu) zoptymalizowane specjalnie do zastosowań w pierścieniach ustalających CMP, dlatego stanowi część portfolio firmy Ensinger dla przemysłu półprzewodnikowego. TECATRON CMP natural charakteryzuje się unikalnym profilem właściwości, który w przypadku zastosowania jako pierścień ustalający CMP umożliwia zmniejszenie mikrorys i defektów na poziomie płytki, w porównaniu ze standardowym polimerem PPS. TECATRON CMP natural występował wcześniej pod nazwą TECATRON SE natural.

Głównym wyzwaniem przy wyborze materiału jest fakt, że niewielkie różnice we właściwościach materiału pierścienia ustalającego CMP wpłyną na kształt chropowatości pada. Modyfikacja ta spowoduje powstanie różnych ilości fragmentów padów i wpłynie na stopień wyłapywania kawałków, co z kolei ma znaczący wpływ na ogólną wydajność procesu CMP.  Badania wykazały, że TECATRON CMP ściera pady w taki sposób, że chropowatość padu jest zoptymalizowana pod kątem lepszego usuwania materiału, jak również zmniejszenia defektów. (Sprawdź badanie, w artykule produkt nosi nazwę TECATRON SE, która jest poprzednią nazwą TECATRON CMP).

Podobnie jak w przypadku wszystkich materiałów klasy półprzewodnikowej firmy Ensinger, rury z TECATRON CMP natural są przetwarzane zgodnie z wymaganiami dotyczącymi dokładnego kopiowania półprzewodników (znanymi również jako copy exact lub CE) oraz bardziej rygorystycznymi kontrolami jakości w porównaniu z przemysłowymi typami PPS.
Dodatkowe kontrole i środki kontroli jakości umożliwiają zmniejszenie ryzyka zanieczyszczeń oraz poprawę naprężeń wewnętrznych i stabilności wymiarowej w porównaniu do standardowego przemysłowego tworzywa PPS.

Dodatkowo, oprócz optymalizacji właściwości materiału, firma Ensinger opracowała również specjalne rozmiary rur, które lepiej pasują do typowych rozmiarów pierścieni ustalających CMP, umożliwiając tym samym redukcję odpadów i kosztów podczas obróbki. Na przykład, w przypadku rur o średnicy zewnętrznej 350 mm / 300 mm średnicy wewnętrznej można zaoszczędzić do 27% kosztów materiałowych w porównaniu z konwencjonalną rurą o średnicy zewnętrznej 360 / 290 mm średnicy wewnętrznej.

W przypadku pierścieni ustalających CMP, które wymagają dłuższej trwałości, firma Ensinger oferuje niewypełniony materiał na bazie PEEK: TECAPEEK CMP natural, który posiada odpowiedni profil właściwości dostosowany do pierścieni ustalających CMP. W przypadku innych zastosowań PPS w branży półprzewodnikowej, które nie wymagają tego specjalnego profilu właściwości, firma Ensinger oferuje tańsze płyty, pręty i rury z materiału PPS klasy półprzewodnikowej – TECATRON SX natural.

 

zgodności

właściwości

oznaczenie chemiczne
PPS (siarczek polifenylenowy)
kolor
bezowy
gęstość
1,36 g/cm3

główne cechy

  • dobra odporność na odkształcenia termiczne
  • dobra odporność chemiczna
  • odporny na promieniowanie wysoko energetyczne
  • wysoka wytrzymałość
  • wysoka stabilność wymiarowa
  • wysoka sztywność
  • wysoka odporność na pełzanie

przemysł docelowy

szczegóły techniczne


  • product-technical-detail-collapse-item-0-lvl-1
    Właściwości mechaniczne wartość jednostka parametr norma
    Moduł elastyczności (próba zrywania) 4100 MPa 1mm/min DIN EN ISO 527-2
    Wytrzymałość na rozciąganie 102 MPa 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    Granica plastyczności 100 MPa 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    Wydłużenie przy granicy plastyczności 4 % 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    Wydłużenie przy zerwaniu 4 % 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    Wtrzymałość na zginanie 151 MPa 2mm/min, 10 N DIN EN ISO 178
    Moduł elastyczności (próba zginania) 4000 MPa 2mm/min, 10 N DIN EN ISO 178
    Współczynnik sprężystości objętościowej 3300 MPa 5mm/min, 10 N EN ISO 604
    Wytrzymałość na ściskanie 20/38/96 MPa 1% / 2% EN ISO 604
    Udarność (Charpy) 29 kJ/m2 max. 7,5J DIN EN ISO 179-1eU
    Twardość Shore'a 87 D DIN EN ISO 868
  • product-technical-detail-collapse-item-1-lvl-1
    Właściwości termiczne wartość jednostka parametr norma
    Temperatura zeszklenia 97 C DIN EN ISO 11357
    Temperatura topnienia 281 C DIN EN ISO 11357
    Przewodność termiczna 0.25 W/(k*m) ISO 22007-4:2008
    Pojemność cieplna właściwa 1.0 J/(g*K) ISO 22007-4:2008
    Temperatura użytkowa 260 C krótkotrwała NN
    Temperatura użytkowa 230 C długotrwała -
    Rozszerzalność termiczna 6 10-5*1/K 23-60°C, dł. DIN EN ISO 11359-1;2
    Rozszerzalność termiczna 7 10-5*1/K 23-100°C, dł. DIN EN ISO 11359-1;2
    Rozszerzalność termiczna 12 10-5*1/K 100-150°C, dł. DIN EN ISO 11359-1;2
  • product-technical-detail-collapse-item-2-lvl-1
    Właściwości elektryczne wartość jednostka parametr norma
    Rezystywność powierzchniowa 1014 DIN IEC 60093
    Rezystywność skrośna 1014 Ω*cm DIN IEC 60093
  • product-technical-detail-collapse-item-3-lvl-1
    Inne właściwości wartość jednostka parametr norma
    Odporność na gorącą wodę / zasady + - -
    Palność (UL94) V0 - odpowiednik DIN IEC 60695-11-10;
    Wpływ warunków atmosferycznych - - -
    Wchłanianie wody <0.01 - 0.01 % 24h / 96h (23ºC) DIN EN ISO 62
  • product-technical-detail-collapse-item-4-lvl-1
    Względne koszty wartość jednostka parametr norma
    koszty względne od € do €€€€€€ €€€

program produkcyjny