TECATRON CMP natural

PPS sem cargas para anéis de retenção CMP

TECATRON CMP natural é um plástico PPS não aditivado (sulfeto de polifenileno) especificamente desenvolvido para aplicação de anéis de retenção no processo de CMP (Chemical Mechanical Planarization or Polishing – Polimento Mecânico Químico) e faz parte do portfólio Ensinger para a indústria de semicondutores. O TECATRON CMP natural é um perfil de propriedade único que, quando comparado a outros polímeros como o PPS, reduz significativamente os riscos de defeitos de pastilhas quando usinado para produção dos anéis de retenção de CMP. O antigo nome do TECATRON CMP natural era TECATRON SE natural.

Um dos grandes desafios ao selecionar materiais para a fabricação de anéis de retenção CMP é avaliar as pequenas diferenças das propriedades de cada material e entender o impacto que isso terá na aspereza dos componentes. O que pode gerar diferentes quantidades de fragmentos e influenciar no desempenho geral do processo de CMP. Estudos demonstraram que o TECATRON CMP otimiza as peças para uma melhor remoção do material, bem como para a redução de defeitos. (Ver estudo sobre o TECATRON SE, que é o antigo nome do TECATRON CMP)

Como em todas as famílias de materiais semicondutores Ensinger, os tubos de TECAPEEK CMP natural são fabricados sob restritos controles de contaminação, oferecendo conformidade total e padrões de qualidade mais rigorosos em comparação com as classes industriais PPS.

Controles de qualidade mais rigorosos e medidas adicionais permitem reduzir os riscos de impurezas e melhorar a tensão interna e a estabilidade dimensional em comparação com o plástico PPS industrial padrão. 

Além da otimização das propriedades do material, a Ensinger também desenvolveu tamanhos especiais de tubos que se ajustam melhor aos tamanhos típicos dos anéis de retenção para processos CMP, permitindo assim a redução do desperdício e dos custos durante a usinagem. Por exemplo, a utilização do tamanho do tubo com O.D. 350 mm / I.D. 300 mm permite até 27% de economia de custo material em comparação com o O.D. 360 / I.D. 290 mm convencional.

Para anéis de retenção CMP que requerem uma vida útil mais longa, a Ensinger oferece o TECAPEEK CMP natural, também com um perfil de propriedade especial alinhado aos anéis de retenção CMP. Para outras aplicações de semicondutores PPS que não requerem este perfil de propriedade especial, a Ensinger oferece chapas, tarugos e tubos de um PPS semicondutor mais econômico - TECATRON SX natural.

 

 

Conformidade

Fatos

Designação química
PPS (Sulfeto de Polifenileno)
Cor
bege
Densidade
1,36 g/cm3

Principais características

  • boa temperatura de deflexão
  • boa resistência química
  • resistente a radiação de alta energia
  • alta resistência mecânica
  • alta estabilidade dimensional
  • elevada rigidez
  • alta resistência a def. sob carga (creep)

Indústrias alvo

Detalhes técnicos

As informações técnicas a seguir são válidas apenas para os produtos fabricados na Alemanha.

  • product-technical-detail-collapse-item-0-lvl-1
    Propriedades mecânicas Valor Unidade Parâmetro Norma
    Módulo de elasticidade (teste de tração) 4100 MPa 1mm/min DIN EN ISO 527-2
    Resistência a tração 102 MPa 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    Resistência a tração no escoamento 100 MPa 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    Alongamento no escoamento 4 % 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    Alongamento na ruptura 4 % 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    Resistência a flexão 151 MPa 2mm/min, 10N DIN EN ISO 178
    Módulo de elasticidade (teste de flexão) 4000 MPa 2mm/min, 10N DIN EN ISO 178
    Módulo de compressão 3300 MPa 5mm/min, 10N EN ISO 604
    Resistência a compressão 20/38/96 MPa 1%/2% EN ISO 604
    Resistência ao impacto (Charpy) 29 kJ/m2 max. 7,5J DIN EN ISO 179-1eU
    Dureza Shore D 87 D DIN EN ISO 868
  • product-technical-detail-collapse-item-1-lvl-1
    Propriedades térmicas Valor Unidade Parâmetro Norma
    Temperatura de transição vítrea 97 C DIN EN ISO 11357
    Temperatura de fusão 281 C DIN EN ISO 11357
    Condutividade térmica 0.25 W/(k*m) ISO 22007-4:2008
    Calor específico 1.0 J/(g*K) ISO 22007-4:2008
    Temperatura de serviço 260 C curta duração NN
    Temperatura de serviço 230 C longa duração -
    Coeficiente Expansão Térmica Linear (CLTE) 6 10-5*1/K 23-60°C, longa DIN EN ISO 11359-1;2
    Coeficiente Expansão Térmica Linear (CLTE) 7 10-5*1/K 23-100°C, longa DIN EN ISO 11359-1;2
    Coeficiente Expansão Térmica Linear (CLTE) 12 10-5*1/K 100-150°C, longa DIN EN ISO 11359-1;2
  • product-technical-detail-collapse-item-2-lvl-1
    Propriedades elétricas Valor Unidade Parâmetro Norma
    Resistência superficial 1014 DIN IEC 60093
    Resistividade de volume específico 1014 Ω*cm DIN IEC 60093
  • product-technical-detail-collapse-item-3-lvl-1
    Outras propriedades Valor Unidade Parâmetro Norma
    Resistência a água quente / bases + - -
    Flamabilidade (UL 94) V0 - corresponde a DIN IEC 60695-11-10;
    Resistência ao intemperismo - - -
    Absorção de água <0.01 - 0.01 % 24h / 96h (23°C) DIN EN ISO 62

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