TECATRON CMP natural

Töltetlen PPS csövek CMP tartógyűrűk gyártásához

A TECATRON CMP natural egy töltetlen PPS műanyag (polifenilén-szulfid), amelyet kifejezetten CMP rögzítőgyűrűs alkalmazásokhoz lett optimalizálva, és így az Ensinger félvezetőipari portfóliójának részét képezi. A TECATRON CMP natural-t olyan egyedi tulajdonságprofil jellemzi, amely a standard PPS-polimerhez képest kevesebb mikrokarcolást és ostyaszintű hibát tesz lehetővé CMP-tartó gyűrűként való alkalmazás esetén. A TECATRON CMP natural korábbi neve TECATRON SE natural volt.

Az anyagválasztás egyik fő kihívása az, hogy a CMP rögzítőgyűrű anyagtulajdonságaiban mutatkozó kis különbségek befolyásolják a pad működésének sikerességét. Ez a módosítás jelentős hatással van a CMP-folyamat általános teljesítményére. A vizsgálatok kimutatták, hogy a TECATRON CMP úgy koptatja a betéteket, hogy a betétek felülete jobb anyageltávolítást és kevesebb hibát mutat. (Lásd a tanulmányt. A termékre a cikkben TECATRON SE néven hivatkozunk, ami a TECATRON CMP korábbi neve).

Mint minden Ensinger félvezető anyagot, a TECATRON CMP natúr csöveket is az iparágra vonatkozó copy exact (más néven CE) követelményeknek és az ipari PPS minőséghez képest szigorúbb minőségellenőrzéseknek megfelelően dolgozzuk fel. A további minőségellenőrzések és intézkedések lehetővé teszik a szennyeződések kockázatának csökkentését, valamint a belső feszültség és a méretstabilitás javítását a szabványos ipari PPS-anyagokhoz képest.

Az anyagtulajdonságok optimalizálása mellett az Ensingernél olyan speciális csőméreteket is kifejlesztettünk, amelyek jobban illeszkednek a CMP rögzítőgyűrűk tipikus méreteibe, így csökkentve a megmunkálás során keletkező hulladékot és költségeket. Például a D.350 mm / d.300 mm csőméret használata akár 27 % anyagköltséget takarít meg a hagyományos D.360 mm / d.290 mm csőhöz képest.

A nagyobb élettartamot igénylő CMP rögzítőgyűrűk számára az Ensinger egy töltetlen PEEK alapú TECAPEEK CMP natural-t kínál, amely szintén a CMP rögzítőgyűrűkhöz igazított speciális tulajdonságprofillal rendelkezik. Más félvezető PPS-alkalmazásokhoz, amelyek nem igénylik ezt a speciális tulajdonságprofil, az Ensinger egy költséghatékonyabb félvezető minőségű PPS lemezt, rudat és csövet kínál: TECATRON SX natural.

Megfelelőség

tények

Kémiai megnevezés
PPS (Polifenilén szulfid)
Szín
bézs
Sűrűség
1,36 g/cm3

főbb jellemzők

  • jó hőterhelési képesség
  • jó vegyszerállóság
  • nagy energiájú sugárzással szembeni ellenállás
  • nagy szilárdság
  • nagyfokú méretstabilitás
  • nagy merevség
  • magas kúszásállóság

Ipari ágazatok

Műszaki adatok


  • product-technical-detail-collapse-item-0-lvl-1
    Mechanikai tulajdonságok Érték Egység paraméter szabvány
    E-modulus húzás 4100 MPa DIN EN ISO 527-2
    Folyáshatár 102 MPa 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    Szakító szilárdság 100 MPa 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    Nyúlás legnagyobb terheléskor 4 % 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    Szakadási nyúlás 4 % 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    Hajlító szilárdság 151 MPa DIN EN ISO 178
    E-modulus hajlítás 4000 MPa 2mm/min, 10 N DIN EN ISO 178
    Kompressziós modulus 3300 MPa EN ISO 604
    Nyomó szilárdság 20/38/96 MPa EN ISO 604
    Ütésállóság (Charpy) 29 kJ/m2 DIN EN ISO 179-1eU
    Shore keménység 87 D DIN EN ISO 868
  • product-technical-detail-collapse-item-1-lvl-1
    Hőtani tulajdonságok Érték Egység paraméter szabvány
    Üvegesedési hőmérséklet 97 C DIN EN ISO 11357
    Olvadáspont 281 C DIN EN ISO 11357
    Hővezetési tényező 0.25 W/(k*m) ISO 22007-4:2008
    Fajhő 1.0 J/(g*K) ISO 22007-4:2008
    Alkalmazási hőmérséklet 260 C rövid idejű NN
    Alkalmazási hőmérséklet 230 C tartós -
    Lineáris hőtágulási együttható (CLTE) 6 10-5*1/K 23-60°C, hosszirányú DIN EN ISO 11359-1;2
    Lineáris hőtágulási együttható (CLTE) 7 10-5*1/K 23-100°C, hosszirányú DIN EN ISO 11359-1;2
    Lineáris hőtágulási együttható (CLTE) 12 10-5*1/K 100-150°C, hosszirányú DIN EN ISO 11359-1;2
  • product-technical-detail-collapse-item-2-lvl-1
    Elektromos tulajdonságok Érték Egység paraméter szabvány
    Felületi ellenállás 1014 DIN IEC 60093
    Térfogati ellenállás 1014 Ω*cm DIN IEC 60093
  • product-technical-detail-collapse-item-3-lvl-1
    További tulajdonságok Érték Egység paraméter szabvány
    Ellenállóképesség forró víznek / lúgoknak + - -
    Éghetőség (UL94) V0 - megfelel DIN IEC 60695-11-10;
    Időjárás állóság - - -
    Vízfelvétel <0.01 - 0.01 % 24h / 96h (23°C) DIN EN ISO 62

félkész termékek