TECATRON CMP natural
PPS UNFILLED TUBES FOR CMP RETAINING RINGS
TECATRON CMP natural er en ufyldt PPS-plast (polyphenylensulfid), der er optimeret specifikt til CMP-fastholdelsesringe og dermed en del af Ensingers portefølje til halvlederindustrien. TECATRON CMP natural er kendetegnet ved en unik egenskabsprofil, der giver færre mikroridser og defekter på waferniveau end standard PPS-polymer, når den bruges som CMP-fastholdelsesringe. Det tidligere navn for TECATRON CMP natural har været TECATRON SE natural.
En stor udfordring ved materialevalg er, at mindre forskelle i CMP-holderingens materialeegenskaber vil påvirke formen på pudernes asperiteter. Denne ændring vil forårsage forskellige mængder af pad-fragmenter og påvirke omfanget af fragmentmedrivning, hvilket igen har en betydelig indvirkning på CMP-processens samlede ydeevne. Undersøgelser har vist, at TECATRON CMP slider puderne på en måde, så pudernes asperitet optimeres til forbedret materialefjernelse og færre defekter. (Se undersøgelsen, produktet kaldes TECATRON SE i artiklen, hvilket er det tidligere navn for TECATRON CMP).
Som med alle Ensingers halvlederkvaliteter behandles TECATRON CMP naturrør i overensstemmelse med kravene til halvlederkopiering (også kendt som copy exact eller CE) og strengere kvalitetskontrol sammenlignet med industrielle PPS-kvaliteter.
Yderligere kvalitetskontrol og -foranstaltninger reducerer risikoen for urenheder og forbedrer den interne spænding og dimensionsstabilitet sammenlignet med standard industrielle PPS-materialer.
Udover optimeringen af materialeegenskaberne har Ensinger også udviklet specielle rørstørrelser, der passer bedre til typiske størrelser af CMP-holderinge, hvilket gør det muligt at reducere spild og omkostninger under bearbejdningen. For eksempel sparer man op til 27 % i materialeomkostninger ved at bruge rørstørrelsen O.D. 350 mm / I.D. 300 mm sammenlignet med konventionel O.D. 360 / I.D. 290 mm.
Til CMP-holderringe, der kræver længere levetid, tilbyder Ensinger en ufyldt PEEK-baseret TECAPEEK CMP natural, også med en særlig egenskabsprofil, der er tilpasset CMP-holderringe. Til andre halvleder-PPS-anvendelser, der ikke kræver denne særlige egenskabsprofil, tilbyder Ensinger en mere omkostningseffektiv halvleder-PPS-plade, -stang og -rør. – TECATRON SX natural.