TECATRON CMP natural

PPS OFYYLLDA RÖR FÖR CMP LÅSRINGAR

TECATRON CMP natural är en ofylld PPS (polyfenylensulfid) optimerad specifikt för CMP låsringsr och är därmed en del av Ensingers portfölj för halvledarindustrin. TECATRON CMP natural kännetecknas av en unik egenskaps profil som möjliggör minskade mikro repor och wafer defekter än standard PPS när den används som CMP låsringar. Det tidigare namnet på TECATRON CMP natural har varit TECATRON SE natural.
 
En viktig utmaning i materialvalet är att mindre skillnader i materialegenskaperna hos CMP låsringar kommer att påverka formen på dynans ojämnheter. Denna modifiering kommer att orsaka olika mängder av dyn fragment och påverka omfattningen av fragment indragning, vilket i sin tur har en betydande inverkan på den totala prestandan för CMP-processen. Studier har visat att TECATRON CMP bär kuddarna på ett sätt så att kuddarnas ojämnheter är optimerade för förbättrad material avlägsning samt minskade defekter. (Se studie, produkten heter TECATRON SE i artikeln, vilket är det tidigare namnet på TECATRON CMP)

Som med alla Ensinger halvledar kvaliteter, bearbetas TECATRON CMP natur rör i enlighet med kraven för exakt halvledarkopiering (även känd som copy exact eller CE) och strängare kvalitetskontroller jämfört med industriella PPS-kvaliteter.Ytterligare kvalitetskontroller och åtgärder möjliggör minskade risker för föroreningar och förbättrad inre spänning och dimensions stabilitet jämfört med vanliga industriella PPS-material.

Förutom optimering av materialegenskaper har Ensinger också utvecklat speciella rörstorlekar som bättre passar typiska storlekar av CMP låsringar, vilket möjliggör minskning av spill och kostnader under bearbetning. Till exempel genom att använda en rörstorlek med O.D. 350 mm / I.D 300 mm sparar man upp till 27 % materialkostnader jämfört med konventionella O.D. 360 / I.D. 290 mm.
 
För CMP låsringar som kräver längre livslängd, erbjuder Ensinger en ofylld PEEK-baserad TECAPEEK CMP naturlig, även med en speciell egenskaps profil anpassad till CMP låsringar. För andra halvledar-PPS-applikationer som inte kräver denna speciella egenskaps profil, erbjuder Ensinger en mer kostnadseffektiv PPS i platta, -stav och -rör av halvledar kvalitet – TECATRON SX natural.

 

Certifikat

Fakta

Kemisk beteckning
PPS (Polyphenylen sulfide)
Färg
Beige
Densitet
1,36 g/cm3

huvud funktioner

  • bra värmeledningstemperatur
  • bra kemisk resistans
  • motstånd mot hög energi strålning
  • hög styrka
  • hög dimensionell stabilitet
  • hög styvhet
  • högt krypmotstånd

Målindustrier

Tekniska detaljer


  • product-technical-detail-collapse-item-0-lvl-1
    Mekaniska Egenskaper Värde Enhet Parametrar Norm
    Elasticitetsmodul (dragprov) 4100 MPa 1mm/min DIN EN ISO 527-2
    Draghållfasthet 102 MPa 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    Böjhållfasthet 100 MPa 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    Dragtöjning 4 % 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    Brottförlängning 4 % 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    Böjhållfasthet 151 MPa 2mm/min, 10 N DIN EN ISO 178
    Elasticitetsmodul (böjningstest) 4000 MPa 2mm/min, 10 N DIN EN ISO 178
    Kompressionsmodul 3300 MPa 5mm/min, 10 N EN ISO 604
    Kompressionsstyrka 20/38/96 MPa 1% / 2% / 5% EN ISO 604
    slagstyrka (charpy) 29 kJ/m2 max. 7,5J DIN EN ISO 179-1eU
    Shore hårdhet 87 D DIN EN ISO 868
  • product-technical-detail-collapse-item-1-lvl-1
    Värmeledningsförmåga Värde Enhet Parametrar Norm
    Glasövergångstemperatur 97 C DIN EN ISO 11357
    Smält temperatur 281 C DIN EN ISO 11357
    Värmeledningsförmåga 0.25 W/(k*m) ISO 22007-4:2008
    Specifik värme 1.0 J/(g*K) ISO 22007-4:2008
    Service temperatur 260 C short term NN
    Service temperatur 230 C long term -
    termisk expansion 6 10-5*1/K 23-60°C, long. DIN EN ISO 11359-1;2
    termisk expansion 7 10-5*1/K 23-100°C, long. DIN EN ISO 11359-1;2
    termisk expansion 12 10-5*1/K 100-150°C, long. DIN EN ISO 11359-1;2
  • product-technical-detail-collapse-item-2-lvl-1
    Elektriska egenskaper Värde Enhet Parametrar Norm
    Specifikt ytmotstånd 1014 DIN IEC 60093
    Specifik volymr esistans 1014 Ω*cm DIN IEC 60093
  • product-technical-detail-collapse-item-3-lvl-1
    Övriga egenskaper Värde Enhet Parametrar Norm
    Motstånd mot varmvatten / baser + - -
    Brandklassning (UL94) V0 - corresponding to DIN IEC 60695-11-10;
    Motståndskraft förvittring - - -
    Vatten absorption <0.01 - 0.01 % 24h / 96h (23°C) DIN EN ISO 62

Lager program