TECAPEEK CMP natural
CMP용 PEEK
TECAPEEK CMP natural은 CMP 리테이닝링 용도로 특별히 개발된 엔싱거 반도체 응용 분야 포트폴리오의 일부입니다. Victrex® PEEK 폴리머를 기반으로 한 비보강 PEEK 플라스틱 (polyetheretherketone : 폴리에테르에테르케톤) 소재입니다.
CMP 리테이닝 링으로 가공할 때, 특수 PEEK 재료의 특성으로 인해, 일반 PEEK 보다 내부 홈 마모(side attack)가 적어, 웨이퍼 결함의 위험이 매우 크게 줄어듭니다. TECAPEEK CMP는 최고의 마모성과 마찰성, 기계적 특성, 치수 안정성, 내열성을 제공하며, 이로 인해 가장 긴 링 수명을 보장합니다.
PEEK 플라스틱의 내마모성이 PPS보다 3배가랑 우수하기 때문에, TECAPEEK CMP natural은 다른 경쟁사 PEEK 보다 20% 이상 더 우수한 내마모성을 갖습니다. 따라서 수명 측면에서 보았을 때 분명한 이점으로 작용합니다.
일반적으로 CMP소모품은 패드와 같이 가장 짧은 수명을 가젠 제품의 배수 단위로 교체되어 집니다. 결과적으로, 링 교체 시기는 패드의 피트스탑(Pit stop)에 맞추어지는 경우가 많습니다. 예를 들어, 특정 조건에서, PPS 링은 4회 패드 교체 동안 지속가능하고, 일반(표준) PEEK 링은 12회의 패드 교체 동안 지속 가능합니다, 그리고 TECAPEEK CMP 링은 14회의 패드 교체 동안 사용할 수 있습니다. 이는 링 교체율과 전체 소유비용에 매우 유리한 영향을 미칩니다.
엔싱거는 재료 특성의 최적화뿐만 아니라, 일반적인 CMP 리테이닝 링 사이즈에 보다 잘 맞는 사이즈의 특수 튜브들도 개발해왔기 때문에, 가공 폐기물과 비용을 절감할 수 있습니다. 예를 들어, 튜브 사이즈 O.D. 350mm / I.D. 300mm는, 기존의 O.D. 360mm / I.D. 290mm 대비 27% 이상의 재료비 절감이 가능합니다.
모든 엔싱거 반도체 grade와 마찬가지로, TECAPEEK CMP natural 튜브는 ‘Semiconductor copy exactly’ (Copy exact 혹은 CE 로 불리기도 함) 요구사항에 부합하며, 산업용 PEEK grades 와 비교하여, 보다 엄격한 품질 관리 하에 가공됩니다. 추가적인 품질 관리 및 조치는, 일반 산업용 PEEK 플라스틱 대비, 불순물 리스크를 줄이고, 내부응력 및 치수안정성을 향상시킵니다. 우리는 TECAPEEK CMP natural이 전자기기에 대한 ‘RoHS Directive 2011/65/EU’ (유해물질 제한지침 RoHS : Restriction of Hazardous Substances) 에 의해 부과되는 제한사항에 부합함을 확인하고, 또한 나아가 적합성 선언(conformity declarations)도 요청 시 제공할 수 있습니다.
더 낮은 재료비를 요구하고 수명주기가 낮은 곳에서 활용될 수 있는 CMP 리테이닝 링을 위해, 엔싱거는 특수 특성 프로파일을 갖춘 PPS 버전-TECARTON CMP natural 또한 CMP 리테이닝 링에 맞게 제공합니다. 특수 특성 프로파일이 필요하지 않은, 기타 반도체 응용분야를 위해, 엔싱거는 보다 가격 경쟁력 있는 반도체용 PEEK 버전- TECAPEEK SX natural 을 판재, 봉재, 튜브 형태로 제공합니다.