TECAPEEK CMP natural
用於CMP固定環的PEEK管材
TECAPEEK CMP natural 為專為CMP固定環應用而開發的材料，屬於恩欣格半導體產業產品之一。 它是以Victrex® PEEK為基材的未填充PEEK（聚醚醚酮）塑料。
當加工成CMP固定環時，與標準PEEK塑料相比，特殊的PEEK材料可以減少內槽磨損（也稱為side attack），進而顯著的降低晶圓缺陷的風險。在CMP固定環材料中，TECAPEEK CMP具有最佳的耐磨和摩擦特性、機械性能、尺寸穩定性和耐溫性，進而實現最長的使用壽命。
由於PEEK塑料的耐磨性是PPS的三倍，而TECAPEEK CMP natural的耐磨度又比競爭對手的PEEK塑料高20%，因此在使用壽命方面具有明顯的優勢。
通常，壽命最短的耗材研磨墊的更換次數是CMP耗材的倍數。因此，環更換時間通常與墊同時。舉例來說，在特定條件下，PPS環可以持續大約4次墊更換，標準PEEK環最多可以更換12次研磨墊，而 TECAPEEK CMP環最多可以持續14次更換墊。這對環的交換率和總擁有成本有重大的有利影響
除了優化材料性能外，恩欣格還開發了特殊的管尺寸，以更好地適應CMP固定環的尺寸，從而減少加工過程中的浪費和成本。例如，與常規的外徑360/內徑 290mm相比，使用外徑 350mm/內徑300mm的管材尺寸可節省高達 27% 的材料成本。與所有恩欣格半導體等級產品一樣，TECAPEEK CMP natural管材的加工符合半導體精確複製要求（Cope exact,CE），與工業等級PEEK相比，品質控制更嚴格。 與標準工業PEEK塑料相比，額外的品質控制和措施可以降低雜質風險，並改善內應力和尺寸穩定性。另外，我們能確保 TECAPEEK CMP natural符合 RoHS 指令 2011/65/EU 對電子電機設備使用特定有害物質的限制，並且可以根據要求提供進一步的符合性聲明。
如果是需要較低材料成本且使用壽命較短的CMP固定圈，恩欣格能夠提供PPS等級的-TECATRON CMP natural，同樣也有符合CMP固定環的特殊性能。對於其他不需要這種特殊性能的半導體應用，恩欣格提供更符合成本效益的半導體級PEEK板、棒和管- TECAPEEK SX natural。