TECAPEEK CMP natural
PEEK per applicazioni CMP
Il TECAPEEK CMP natural è stato sviluppato specificatamente per la realizzazione di anelli di contenimento CMP e fa parte del portafoglio di materiali Ensinger ideati per l’industria dei semiconduttori. Si tratta di un materiale plastico PEEK (polietereterchetone) non caricato realizzato con materia prima Victrex® PEEK.
Quando viene lavorato per la produzione degli anelli di contenimento CMP, le speciali proprietà del peek consentono una minore usura della scanalatura interna (anche chiamata attacco laterale) rispetto al PEEK industriale standard, riducendo in modo significativo il rischio di difetti del wafer. Tra i materiali per anelli di contenimento CMP, il TECAPEEK CMP offre le migliori caratteristiche di abrasione e attrito, proprietà meccaniche, stabilità dimensionale e resistenza alla temperatura, consentendo così una maggiore durata dell'anello.
Poiché la resistenza all'usura della plastica PEEK è tre volte superiore a quella del PPS e il TECAPEEK CMP natural ha una resistenza all'usura superiore del 20% rispetto ai prodotti PEEK della concorrenza, vi è un chiaro vantaggio in termini di durata.
In genere, i consumabili CMP vengono sostituiti a multipli di quello che ha la vita più breve, in genere il tampone. Di conseguenza, la tempistica di sostituzione degli anelli è spesso allineata al "pit stop" dei pad. Ad esempio, in determinate condizioni, un anello in PPS può durare circa 4 cambi di tampone, un anello in PEEK standard può durare fino a 12 cambi di tampone e un anello in TECAPEEK CMP può durare fino a 14 cambi di tampone. Ciò ha un notevole impatto positivo sul tasso di sostituzione dell'anello e sul costo totale di proprietà.
Oltre all'ottimizzazione delle proprietà dei materiali, Ensinger ha anche sviluppato tubi di dimensioni speciali che si adattano meglio alle dimensioni tipiche degli anelli di contenimento CMP, consentendo così di ridurre gli scarti e i costi di lavorazione. Ad esempio, l'utilizzo di barre forate con diam. est. 350 mm / diam. int. 300 mm consente di ridurre fino al 27% i costi di lavorazione rispetto ai tradizionali diam. est. 360 / diam. int. 290 mm.
Come tutti i prodotti Ensinger per semiconduttori, i forati TECAPEEK CMP natural sono lavorati in conformità ai requisiti della metodologia Copy Exactly utilizzata nel settore dei semiconduttori (nota anche come copy exact o CE) e a controlli di qualità più severi rispetto ai gradi PEEK industriali. Ulteriori controlli e misure di qualità consentono di ridurre i rischi di impurità e di migliorare le sollecitazioni interne e la stabilità dimensionale rispetto alla plastica PEEK industriale standard. Possiamo confermare che TECAPEEK CMP natural soddisfa i limiti imposti dalla direttiva RoHS 2011/65/UE sulla restrizione delle sostanze pericolose nelle apparecchiature elettriche e possiamo fornire ulteriori dichiarazioni di conformità su richiesta.
Per gli anelli di contenimento CMP che richiedono un costo inferiore del materiale e per i quali è possibile utilizzare una durata inferiore, Ensinger offre una versione in PPS - TECATRON CMP natural, anch'essa con uno speciale profilo di proprietà allineato agli anelli di contenimento CMP. Per altre applicazioni nel settore dei semiconduttori che non richiedono questo speciale profilo di proprietà, Ensinger offre una versione di PEEK di grado semiconduttore più conveniente in lastre, barre e forati: TECAPEEK SX natural.