TECAPEEK CMP natural

RURY Z PEEK DO PIERŚCIENI USTALAJĄCYCH CMP

TECAPEEK CMP natural jest specjalnie zmodyfikowany do zastosowań z pierścieniami ustalającymi CMP i stanowi część portfolio firmy Ensinger dla przemysłu półprzewodników. Jest to niewypełnione tworzywo sztuczne PEEK (polieteroeteroketon) oparte na polimerze  Victrex® PEEK. 

Podczas obróbki mechanicznej pierścieni ustalających CMP, specjalne właściwości materiału peek umożliwiają mniejsze zużycie wewnętrznego rowka (znane również jako zjawisko "side attack") w porównaniu do standardowego tworzywa sztucznego PEEK, co znacznie zmniejsza ryzyko wystąpienia wad płytek. Wśród materiałów na pierścienie ustalające CMP, TECAPEEK CMP oferuje najlepszą charakterystykę ścierania i tarcia, właściwości mechaniczne, stabilność wymiarową i odporność na temperaturę, umożliwiając tym samym najdłuższą żywotność pierścienia.

W związku z tym, że odporność na zużycie tworzywa PEEK jest trzykrotnie lepsza niż PPS, a TECAPEEK CMP natural ma o 20% lepszą odporność na zużycie niż konkurencyjne produkty PEEK, ma on wyraźną przewagę pod względem okresu użytkowania.

Ogólnie rzecz biorąc, materiały eksploatacyjne CMP są wymieniane po upływie cyklu życia tego elementu, który ma najkrótszą trwałość, zazwyczaj jest to pad. W związku z tym czas wymiany pierścienia jest często dostosowany do przestoju padów. Na przykład, w pewnych warunkach, pierścień PPS może wytrzymać około 4 wymian padów, standardowy pierścień PEEK może wytrzymać do 12 wymian padów, a pierścień TECAPEEK CMP może wytrzymać do 14 wymian padów. Ma to istotny korzystny wpływ na częstotliwość wymiany pierścienia i całkowity koszt eksploatacji.

Dodatkowo, oprócz optymalizacji właściwości materiału, firma Ensinger opracowała również specjalne rozmiary rur, które lepiej pasują do typowych rozmiarów pierścieni ustalających CMP, umożliwiając tym samym redukcję odpadów i kosztów podczas obróbki. Przykładowo, zastosowanie rozmiaru rury o średnicy zewnętrznej 350 mm / 300 mm średnicy wewnętrznej umożliwia do 27% oszczędności kosztów materiału w porównaniu z konwencjonalnym wymiarem rury o średnicy zewnętrznej 360 / 290 mm średnicy wewnętrznej.

Podobnie jak w przypadku wszystkich materiałów firmy Ensinger do branży półprzewodnikowej, możemy potwierdzić, że rury z TECAPEEK CMP natural są przetwarzane zgodnie z wymaganiami dotyczącymi dokładnego kopiowania półprzewodników (znanymi również jako copy exaxt lub CE) i bardziej rygorystycznymi kontrolami jakości w porównaniu do standardowych typów PEEK. Dodatkowe kontrole jakości i środki umożliwiają zmniejszenie ryzyka zanieczyszczeń oraz poprawę naprężeń wewnętrznych i stabilności wymiarowej w porównaniu ze standardowym przemysłowym tworzywem sztucznym PEEK. Możemy potwierdzić, że TECAPEEK CMP natural spełnia ograniczenia nałożone przez dyrektywę RoHS 2011/65/EU w sprawie ograniczenia stosowania substancji niebezpiecznych w sprzęcie elektrycznym, a na życzenie możemy dostarczyć także dodatkowe deklaracje zgodności.

W przypadku pierścieni ustalających CMP, które wymagają niższych kosztów materiału i gdzie można wykorzystać krótszy okres eksploatacji, firma Ensinger oferuje wersję PPS -  TECATRON CMP natural, również o specjalnym profilu właściwości dostosowanym do pierścieni ustalających CMP.  W przypadku innych zastosowań półprzewodnikowych, które nie wymagają tego specjalnego profilu właściwości, firma Ensinger oferuje bardziej ekonomiczny typ PEEK do branży półprzewodnikowej w postaci płyt, prętów i rur – TECAPEEK SX natural.

zgodności

właściwości

oznaczenie chemiczne
PEEK (polieteroeteroketon)
kolor
bezowy
gęstość
1,31 g/cm3

główne cechy

  • dobra odporność na odkształcenia termiczne
  • dobra obrabialność
  • inherentnie opóźniający palenie
  • odporny na hydrolizę i parę przegrzaną
  • wysoka ciągliwość
  • odporny na promieniowanie wysoko energetyczne
  • dobre właściwości ślizgowe i cierne
  • wysoka odporność na pełzanie

przemysł docelowy

szczegóły techniczne


  • product-technical-detail-collapse-item-0-lvl-1
    Właściwości mechaniczne wartość jednostka parametr norma
    Moduł elastyczności (próba zrywania) 4100 MPa 1mm/min DIN EN ISO 527-2
    Wytrzymałość na rozciąganie 110 MPa 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    Granica plastyczności 110 MPa 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    Wydłużenie przy granicy plastyczności 4 % 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    Wydłużenie przy zerwaniu 50 % 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    Wtrzymałość na zginanie 160 MPa 2mm/min, 10 N DIN EN ISO 178
    Moduł elastyczności (próba zginania) 3900 MPa 2mm/min, 10 N DIN EN ISO 178
    Współczynnik sprężystości objętościowej 3200 MPa 5mm/min, 10 N EN ISO 604
    Wytrzymałość na ściskanie 15 - 34 MPa 1% / 2% EN ISO 604
    Udarność (Charpy) n.b. kJ/m2 max. 7,5J DIN EN ISO 179-1eU
  • product-technical-detail-collapse-item-1-lvl-1
    Właściwości termiczne wartość jednostka parametr norma
    Temperatura zeszklenia 151 C DIN EN ISO 11357
    Temperatura topnienia 340 C DIN EN ISO 11357
    Temperatura odkształcenia cieplnego 162 C HDT, metoda A ISO-R 75 Method A
    Przewodność termiczna 0.27 W/(k*m) ISO 22007-4:2008
    Pojemność cieplna właściwa 1.1 J/(g*K) ISO 22007-4:2008
    Temperatura użytkowa 300 C krótkookresowa NN
    Temperatura użytkowa 260 C długookresowa NN
    Rozszerzalność termiczna 5 10-5*1/K 23-60°C, dł. DIN EN ISO 11359-1;2
    Rozszerzalność termiczna 6 10-5*1/K 23-100°C, dł. DIN EN ISO 11359-1;2
    Rozszerzalność termiczna 7 10-5*1/K 100-150°C, dł. DIN EN ISO 11359-1;2
  • product-technical-detail-collapse-item-2-lvl-1
    Właściwości elektryczne wartość jednostka parametr norma
    Rezystywność powierzchniowa 1015 srebrna elektroda, 23°C, 12% wzgl. wilg. -
    Rezystywność skrośna 1015 Ω*cm srebrna elektroda, 23°C, 12% wzgl. wilg. -
    Wytrzymałość elektryczna 73 kV/mm ISO 60243-1
    Odporność na prądy pełzające 125 V platynowa elektroda, 23°C, 50% wzgl. wilg., rozpuszczalnik A DIN EN 60112
  • product-technical-detail-collapse-item-3-lvl-1
    Inne właściwości wartość jednostka parametr norma
    Odporność na gorącą wodę / zasady + - -
    Wpływ warunków atmosferycznych - - -
    Wchłanianie wody 0.02 - 0.03 % 24h / 96h (23ºC) DIN EN ISO 62

program produkcyjny