TECAPEEK CMP natural
PEEK voor CMP toepassingen
TECAPEEK CMP natural is speciaal ontwikkeld voor CMP-borgringen en maakt deel uit van Ensinger's portfolio voor de halfgeleiderindustrie. Het is een ongevuld PEEK kunststof (polyetheretherketoon) materiaal op basis van Victrex® PEEK polymeer.
Bij bewerking tot CMP borgringen zorgen de speciale PEEK-eigenschappen van het materiaal voor minder slijtage van de binnengroef (ook wel side attack genoemd) in vergelijking met standaard PEEK kunststof. Dit vermindert het risico op wafer-defecten aanzienlijk. Van CMP-materialen voor borgringen heeft TECAPEEK CMP de beste slijtage- en wrijvingskarakteristieken, mechanische eigenschappen, dimensionale stabiliteit en temperatuurbestendigheid. Dit garandeert de langste levensduur van de ring.
De slijtvastheid van PEEK-kunststof is drie keer beter dan die van PPS, en TECAPEEK CMP natural heeft 20% betere slijtvastheid dan concurrerende PEEK-producten. Er is dus een duidelijk langere levensduur.
Over het algemeen worden CMP-verbruiksartikelen vervangen op basis van het onderdeel met de kortste levensduur, meestal de pad. Daarom wordt de timing voor het vervangen van de ring vaak afgestemd op de "pitstop" van de pad. Als onder bepaalde omstandigheden een PPS-ring bijvoorbeeld 4 padwisselingen meegaat, gaat een standaard PEEK-ring tot 12 padwisselingen mee en een TECAPEEK CMP-ring tot 14 padwisselingen. Dit heeft een aanzienlijk gunstig effect op de tijd waarna de ring moet worden vervangen en de totale eigendomskosten.
Naast de optimalisatie van de materiaaleigenschappen heeft Ensinger ook speciale maten holstaven ontwikkeld voor de typische maten van CMP-borgringen, waardoor er minder afval en kosten ontstaan tijdens het verspanen. Bij een holstaf met bv. een buitendiameter van 350 mm / binnendiameter van 300 mm, kun je tot 27% materiaalkosten besparen in vergelijking met de conventionele buitendiameter van 360 mm / binnendiameter van 290 mm.
Zoals alle halfgeleiderkwaliteiten van Ensinger, worden holstaven TECAPEEK CMP natural verwerkt overeenkomstig eisen van de copy-exact (CE) en strengere kwaliteitscontroles vergeleken met industriële PEEK-classificaties. Door extra kwaliteitscontroles en maatregelen is er minder kans op onzuiverheden en zijn de interne spanning en dimensionale stabiliteit beter dan bij standaard industrieel PEEK-kunststof. Wij bevestigen dat TECAPEEK CMP natural voldoet aan de BGS-richtlijn 2011/65/EU Beperking van gevaarlijke stoffen in elektrische apparatuur. Op verzoek verstrekken wij ook verdere conformiteitsverklaringen.
Voor CMP-borgringen waarbij materiaalkosten minder moeten zijn en die een kortere levensduur mogen hebben, biedt Ensinger een PPS-versie TECATRON CMP natural, ook met eigenschappen afgestemd op CMP-borgringen. Voor andere halfgeleidertoepassingen die deze speciale eigenschappen niet vereisen, biedt Ensinger een goedkopere PEEK-versie als plaat, staf, en holstaf TECAPEEK SX natural.