TECATRON CMP natural
TUBOS DE PPS SIN ADITIVAR PARA ANILLOS DE RETENCIÓN CMP
TECATRON CMP natural es un plástico PPS sin aditivar (sulfuro de polifenileno) optimizado específicamente para aplicaciones de anillos de retención CMP y, por lo tanto, forma parte de la cartera de productos Ensinger para la industria de los semiconductores. TECATRON CMP natural se caracteriza por un perfil de propiedades único que, cuando se utiliza como anillo de retención CMP, permite reducir los microarañazos y los defectos a nivel de obleas que el polímero PPS estándar. Anteriormente, el producto TECATRON CMP natural se llamaba TECATRON SE natural.
Un desafío clave en la selección de materiales es que pequeñas diferencias en las propiedades del material del anillo de retención CMP afectarán a la forma de las asperezas de la almohadilla. Esta modificación provocará diferentes cantidades de fragmentos de almohadilla e influirá en el grado de arrastre de fragmentos, lo que a su vez tiene un impacto significativo en el rendimiento general del proceso CMP. Los estudios han demostrado que TECATRON CMP desgasta las almohadillas, de modo que sus asperezas se optimizan para mejorar la eliminación de material y reducir los defectos. (Consúltese el estudio, el producto se denomina TECATRON SE en el artículo, que es como se llamaba anteriormente TECATRON CMP).
Al igual que con todos los grados de semiconductores de Ensinger, los tubos de TECATRON CMP natural se procesan de acuerdo con los requisitos de copia exacta de semiconductores (también conocidos como copia exacta o CE) y los controles de calidad más estrictos en comparación con otros grados industriales de PPS.
Los controles y medidas de calidad adicionales permiten reducir los riesgos de impurezas y mejorar la tensión interna y la estabilidad dimensional en comparación con los materiales PPS industriales estándar.
Además de la optimización de las propiedades del material, Ensinger también ha desarrollado tamaños de tubo especiales que se ajustan mejor a los tamaños típicos de los anillos de retención CMP, lo que permite reducir los residuos y los costes durante el mecanizado. Por ejemplo, el uso del tamaño de tubo con un D.E. 350 mm / D.I. 300 mm permite hasta un 27 % de ahorro en costes de material en comparación con el D.E. 360 / D.I. 290 mm convencional.
Para los anillos de retención de CMP que requieren una mayor vida útil, Ensinger ofrece un TECAPEEK CMP natural que utiliza PEEK sin aditivar, también con un perfil de propiedades especial coincidente con los anillos de retención de CMP. Para otras aplicaciones de semiconductores PPS que no requieren este perfil de propiedades especial, Ensinger ofrece una versión de semiconductor tipo PPS más rentable en placa, barra y tubo: TECATRON SX natural.