TECATRON CMP natural

Ungefüllte PPS Kunststoff Hohlstäbe für CMP Halteringe

TECATRON CMP natural ist ein ungefüllter PPS Kunststoff (Polyphenylensulfid), der speziell für CMP Haltering Anwendungen optimiert wurde und damit wichtiger Bestandteil des Ensinger Portfolios für die Halbleiterindustrie ist. TECATRON CMP natural zeichnet sich durch ein einzigartiges Eigenschaftsprofil aus, das bei der Verwendung als CMP Haltering im Vergleich zum Standard Kunststoff PPS nur minimale Mikrokratzer und Defekte auf Wafer Ebene aufweist. Zuvor war TECATRON CMP natural unter der Bezeichnung TECATRON SE natural gelistet. 
 
Eine wesentliche Herausforderung bei der Materialauswahl besteht darin, dass geringe Unterschiede in den Materialeigenschaften des CMP Halterings die Form der Pad Aspersität beeinflussen. Diese Modifikation führt zu unterschiedlichen Mengen von Pad Fragmenten und beeinflusst das Ausmaß der Fragmentmitnahme, was wiederum einen erheblichen Einfluss auf die Gesamtleistung des CMP Prozesses hat. Studien haben ergeben, dass TECATRON CMP die Pads in einer Weise verschleißen, dass die Oberflächen der Pads einen verbesserten Materialabtrag und weniger Defekte aufweisen. (Siehe Studie. Das Produkt wird im Artikel als TECATRON SE bezeichnet, was die frühere Bezeichnung von TECATRON CMP ist.) 

Wie alle Ensinger Halbleitertypen werden auch die TECATRON CMP natural Hohlstäbe unter Einhaltung der Copy Exactly-Anforderungen (auch Copy-Exact genannt) der Halbleiterindustrie und unter strengeren Qualitätskontrollen als bei industriellen PPS Polymer Typen verarbeitet. Zusätzliche Qualitätskontrollen und Maßnahmen ermöglichen ein reduziertes Risiko von Verunreinigungen und eine verbesserte Eigenspannung und Dimensionsstabilität im Vergleich zum Standard Industrie PPS Kunststoff.
 
Neben der Optimierung der Materialeigenschaften hat Ensinger auch spezielle Hohlstabgrößen entwickelt, die den gängigen Größen von CMP Halteringen entsprechen und somit eine Reduzierung von Ausschuss und Kosten bei der Zerspanung ermöglichen. So lassen sich beispielsweise bei der Hohlstabgröße mit Außendurchmesser 350 mm / Innendurchmesser 300 mm, bis zu 27% Materialkosten im Vergleich zum herkömmlichen Außendurchmesser 360 / Innendurchmesser 290 mm einsparen.
 
Für CMP Halteringe, die eine höhere Lebensdauer erfordern, bietet Ensinger ein ungefülltes TECAPEEK CMP natural auf der Basis von PEEK an. TECAPEEK CMP natural ist ebenfalls mit einem speziellen, auf CMP Halteringe abgestimmten Eigenschaftsprofil ausgestattet. Für andere PPS Halbleiteranwendungen, die dieses spezielle Eigenschaftsprofil nicht erfordern, bietet Ensinger kostengünstigere PPS Halbleiterplatten, PPS Rundstäbe und PPS Hohlstäbe - TECATRON SX natural

Konformitäten

Eigenschaften:

Chemische Bezeichnung:
PPS (Polyphenylensulfid)
Farbe:
beige
Dichte:
1,36 g/cm3

Hauptmerkmale:

  • gute Wärmeformbeständigkeit
  • gut chemisch beständig
  • beständig gegen energiereiche Strahlung
  • hohe Festigkeit
  • hohe Maßhaltigkeit
  • hohe Steifigkeit
  • hohe Kriechfestigkeit

Zielindustrien:

Technische Eigenschaften


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    Mechanische Eigenschaften Wert Einheit Parameter Norm
    Zug-Elastizitätsmodul 4100 MPa 1mm/min DIN EN ISO 527-2
    Zugfestigkeit 102 MPa 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    Streckspannung 100 MPa 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    Streckdehnung (Zugversuch) 4 % 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    Bruchdehnung (Zugversuch) 4 % 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    Biegefestigkeit 151 MPa 2mm/min, 10 N DIN EN ISO 178
    Biege-Elastizitätsmodul 4000 MPa 2mm/min, 10 N DIN EN ISO 178
    Druck-Elastizitätsmodul 3300 MPa 5mm/min, 10 N EN ISO 604
    Druckfestigkeit 20/38/96 MPa 1% / 2% EN ISO 604
    Schlagzähigkeit (Charpy) 29 kJ/m2 max. 7,5J DIN EN ISO 179-1eU
    Shore Härte 87 D DIN EN ISO 868
  • product-technical-detail-collapse-item-1-lvl-1
    Thermische Eigenschaften Wert Einheit Parameter Norm
    Glasübergangstemperatur 97 C DIN EN ISO 11357
    Schmelztemperatur 281 C DIN EN ISO 11357
    Wärmeleitfähigkeit 0.25 W/(k*m) ISO 22007-4:2008
    Spezifische Wärmekapazität 1.0 J/(g*K) ISO 22007-4:2008
    Einsatztemperatur 260 C kurzzeitig NN
    Einsatztemperatur 230 C dauernd -
    Wärmeausdehnung (CLTE) 6 10-5*1/K 23-60°C, längs DIN EN ISO 11359-1;2
    Wärmeausdehnung (CLTE) 7 10-5*1/K 23-100°C, längs DIN EN ISO 11359-1;2
    Wärmeausdehnung (CLTE) 12 10-5*1/K 100-150°C, längs DIN EN ISO 11359-1;2
  • product-technical-detail-collapse-item-2-lvl-1
    Elektrische Eigenschaften Wert Einheit Parameter Norm
    spezifischer Oberflächenwiderstand 1014 DIN IEC 60093
    spezifischer Durchgangswiderstand 1014 Ω*cm DIN IEC 60093
  • product-technical-detail-collapse-item-3-lvl-1
    Sonstige Eigenschaften Wert Einheit Parameter Norm
    Beständigkeit gegen heißes Wasser/ Laugen + - -
    Brennverhalten (UL94) V0 - entsprechend DIN IEC 60695-11-10;
    Verhalten bei Freibewitterung - - -
    Wasseraufnahme <0.01 - 0.01 % 24h / 96h (23ºC) DIN EN ISO 62
  • product-technical-detail-collapse-item-4-lvl-1
    Relative Kosten Wert Einheit Parameter Norm
    Relative Kosten EU von € nach €€€€€ €€€

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