TECADUR PET CMP natural
PET CMP
TECADUR PET CMP는 반도체 산업에서 요구하는 낮은 불순물과 이온 오염도 조건을 충족합니다. 또한 매우 우수한 슬라이딩성과 내마모성 외에도 엄격한 품질 기준을 유지하는 특수 폴리에스테르 소재입니다.
전기적특성 | 측정값 | 단위 | 조건 | 기준 |
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표면저항 | 1014 | Ω | - | |
체적저항 | 1014 | Ω*cm | - |